<申請(qǐng)?zhí)?gt;200410018113
<申請(qǐng)人>上海耀皮工程玻璃有限公司、上海耀華皮爾金頓玻璃股份有限公司
本發(fā)明自玻璃基板向外依次為:玻璃/電介質(zhì)層(1)/銀層(1)/保護(hù)層(1)/復(fù)合電介質(zhì)層(1)/銀層(2)/保護(hù)層(2)/電介質(zhì)層(2);其中:電介質(zhì)層(1)為SnO2,通過交流陰極的錫靶在氧氬氛圍中濺射,銀層(1)、(2)為Ag,通過直流平靶在氬氣氛圍中濺射;保護(hù)層(1)、(2)為NiCr,通過直流平靶在氬氣氛圍中濺射鎳鉻合金,其中Ni∶Cr=80∶20;復(fù)合電介質(zhì)層(1)為TiOx/SnO2/TiOx結(jié)構(gòu),通過交流陰極的氧化鈦靶和錫靶在氧氬氛圍中濺射,電介質(zhì)層(2)為Si3N4,通過交流陰極的硅鋁合金靶在氮?dú)宸諊袨R射得到,Si∶Al=90∶10,優(yōu)點(diǎn)是,具有紅外線反射能力強(qiáng),膜層表面輻射率低等優(yōu)良特性的玻璃。